我國工業氣體行業發展亟待突破高端特氣瓶頸

發布時間：2023-07-27

盡管在鋼瓶氣等傳統及中低端產品方面，我國已經形成了規模優勢，但在高端氣體尤其是特氣方面，我國的差距還是比較明顯?！疤貧馐切屡d門類，在特定領域應用。目前外資在產品質量和產業規模上均具有較大優勢，國內還有很多特氣不能生產，很多產品還處于進口替代過程中?！蹦壳叭珖墓I氣體中特氣占比15%，特氣中一半是電子特氣。

電子氣體作為極大規模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業生產中不可缺少的基礎和支撐性材料之一，被廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝，沒有這些基本原材料，其下游的IC、LCD/LED、光伏太陽能產品就無法制造。據業內不完全統計，2016年我國晶圓制造電子材料市場總額達343.03億元，較2015年增長6.9%，預計2017年將達359.36億元。未來中國基于廣大的市場消費群體，預計仍將保持增長態勢。

經過近10年發展，國內電子氣體行業涌現了一批生產質量穩定，能夠被半導體客戶接受的電子氣體生產企業。從2012年至2016年，國內電子氣體企業生產銷售額占中國晶圓制造電子氣市場需求由3.8%增加至25.0%，預計2017年將增加至28.4%。國內電子氣體市場接近全球的1/3，而且比例還在不斷提高，但國內自給率卻非常低，近八成產品依賴進口。

“有些電子氣體國內并不是完全不能生產，但在技術精益性上與國際先進水平有差別。譬如氯化氫，國內企業也可以做到水分含量只有0.1ppm，但難以確保質量恒定在高水平?！?/p>

據了解，國家對電子氣體的發展一直比較重視，僅去年就出臺了多項鼓勵政策。譬如科技部印發的《“十三五”先進制造技術領域科技創新專項規劃》提到要重點研發超高純電子氣體；發改委印發的《增強制造業核心競爭力3年行動計劃（2018～2020年）》提到了高純氯氣、氯化氫、等系列電子特氣?！拔覀儜プr機，通過自主創新，增加產品種類，提高國產化率，爭取早日解決缺‘氣’的瓶頸和制約?！?/p>